Halbleiter Herstellung

In der Halbleiterherstellung gelten speziell hohe Anforderungen. Die Gase sind aggressiv, sehr teuer und es muss auf absolute Reinheit geachtet werden. Fragen Sie uns, wir beraten Sie gerne.

OEM Werkzeuge

Flexibilität ist der Schlüssel zum Erfolg. Wir liefern betriebsbereite Systeme und passen unsere Produkte den kundenspezifischen Wünschen an. Häufig sind diese Anpassungen für Sie als Kunde kostenlos. Unser Payback ist die zusätzliche Erfahrung aus Ihrer Anwendung

Werkzeuge für die Halbleiterherstellung

Unsere Mass Flow Meters und Controllers kontrollieren Abläufe und Umgebung von komplexen Werkzeugen wie z.B. Regelung der Luftkissen in photolithographischen Anlagen oder Regulierungen für Anwendungen in PVD Vorrichtungen.

Wafer Cleaning & Polishing

OEMs von Wafer Reinigungsanlagen nutzen unsere Mass Flow Meters und Controllers mit speziell tiefen Druckabfall, präzise Durchflussregelungen erreichen damit eine sehr hohe Effizienz. Unser weltweites Service Netzwerk garantiert jederzeit einen optimalen Support.

Reinigung & Träger Gase

Wir haben einige spezielle Lösungen entwickelt für die Messung und Regelung von Träger- und Reinigungsgasen. Unsere Produkte erreichen deshalb höhere Durchflussraten unter Beibehaltung eines tiefen Druckabfalls.

Regelung trotz tiefem Druckabfall

Ultra low Pressure Drop MFC's heissen unsere Controller, die einen tiefst möglichen Druckabfall erzeugen. Die bei der Halbleiterproduktion benötigten hochreinen Gase sind sehr teuer und der Verbrauch dieser Gase kann dank unserer Technologie auf ein Mindestmass reduziert und optimiert werden.

PVD

Physical Vapor Deposition (PVD) waren die ersten Anwendungen unserer Mass Flow Meters und Controllers in den frühen 80-er Jahren. Schon damals konnten wir hohe Durchflussraten von korrosiven Gasen optimal regeln und haben unsere Produkte stets weiter optimiert.

Lieferung hochreiner Gase

Unsere Ultra High Purity Thermal Mass Flow Meter ist die beste Lösung zur Messung und Verteilung von hochreinen Gasen in der pharmazeutischen Industrie, in der Halbleiterproduktion und allen anderen hochreinen Anwendungen.